ИНТЕГРИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ

Серия представлена тремя сканирующими электронными микроскопами технологии ESEM, и двумя (FIB SEM) моделями, идеальными для получения разнообразных характеристик, анализа наноструктур и типовых задач пробоподготовки. Электронный и ионный пучок в одном приборе (FIB SEM) для объемной характеризации, изготовления и анализа структур размером менее 100 нм – реализация инженерного подхода «сверху-вниз» в нанотехнологии.

Подробнее >>>

В серии Helios NanoLab, FEI комбинируя самый передовой сканирующий электронный микроскоп (SEM) и технологию сфокусированного ионного пучка с инновационным применением газовой химии, новых датчиков и манипуляторов позволяет достичь превосходного контраста и разрешения (разрешение 0.5 нм при 15 кВ и лучше чем 1.5 нм при 1 кВ). Датчики Helios NanoLab позволяют получить доступ к точной топографической, химической или кристаллографической информации образца. Прямое осаждение и ускоренное травление основываются на передовой газовой инжекционной системе и позволяют быстро и легко подготовить образцы полупроводникового типа или хранения данных, как для соответствующих отраслей промышленности, так и для исследователей.

Подробнее >>>

Серия Expida предлагает микроскопы DualBeam с 300-мм столиком образцов для быстрой и точной трехмерной характеризации дефектов, анализу отказов и подготовке образцов для TEM в автоматическом режиме. Ведущие полупроводниковые изготовители используют инструменты серии Expida для точной трехмерной характеристики дефектов и получения образцов улучшенного качества. Микроскопы Expida обеспечивают получение более быстрых результатов, при более низких затратах, за счет большой аналитической пропускной способности и высокой качественной информации по сравнению с обычными аналитическими процедурами.

Подробнее >>>

Две (FIB SEM) модели с высококонтрастным изображением и высокой разрешающей способностью для полного структурного анализа и типовых задач подготовки образцов для STEM и TEM микроскопии. Встроенная пробоподготовка, ультравысокое разрешение в STEM режиме и микроанализ с локальностью 30 нм делают их незаменимыми для использования в лабораторных исследованиях и процессах производства полупроводников.

Подробнее >>>

Серия V600 (FIB system) включает самые эффективные, гибкие, и рентабельные инструментальные средства модификации каналов, характерных для полупроводниковых лабораторий. С приборами V600 у Вас есть возможность выполнить модификации канала в течение часов, вместо дней или недель. А также выполнять ускоренную подготовку поперечных сечений и образцов для типовой TEM микроскопии.

Подробнее >>>

Сканирующие электронные микроскопы этой серии позволяют получать весь спектр данных об образцах в трех вакуумных режимах - высоковакуумном, низковакуумном и режиме естественной среды (ESEM). Возможность работы в режиме ESEM – отличительная особенность серии Quanta. Эта возможность особенно важна при изучении биологических объектов и непроводящих образцов. Растровые электронные микроскопы этой серии могут быть оборудованы различными детекторами и аналитическими системами, такими как детекторами обратно рассеянных электронов для работы в разных режимах, системами энергодисперсионного и волнового рентгеновского микроанализа (EDX, WDX), детектором обратно рассеянных электронов (EBSD) для анализа структуры и текстуры кристаллических материалов. Quanta 3D позволяет подготовить образцы для TEM микроскопии и осуществить просмотр образцов в STEM режиме.
Уникальная особенность микроскопа Quanta 200 3D, отличающая его от других приборов – возможность создания микросечений, позволяющая изучить подповерхностную структуру образца непосредственно на месте, в камере микроскопа.

Подробнее >>>