Революция, происходящая в нанонауке, была, как известно, инициирована несколькими достижениями в технологии. Если экономической подоплекой этой революции стала необходимость общества во все большей емкости запоминающих устройств и во все более быстром и широком распространении информации по сетям связи, то ключевым фактором, ответственным за результаты нанотехнологической революции, явилось усовершенствование старых и создание новых инструментальных средств определения параметров наноструктур, что дало возможность получать все меньшие и меньшие структуры, при постоянном увеличении точности, с которой такие структуры можно изготавливать.

Проблемы фокусировки рентгеновских лучей из-за их малого коэффициента преломления и инертности к электромагнитным полям были решены за счет полного внешнего отражения от изогнутых зеркальных поверхностей или от кристаллографических плоскостей.

Дифракция рентгеновских лучей и их высокая проникающая способность, простая линейчатая структура спектров и резкое изменение коэффициента поглощения с изменением атомного номера элемента позволили создать ряд приборов, различающихся по принципу действия получения рентгеновского изображения – отражательную, проекционную, дифракционную рентгеновскую микроскопию и рентгеновскую микрорентгенографию.

Линейка приборов и устройств рентгеновской микроскопии, представленная различными производителями на рынке устройств микро – и наноанализа одна из самых многочисленных при изучении строения объектов различной природы – в биологии, медицине, минералогии, металлургии, химии для объектов непрозрачных для видимого света и электронов - рентгеновские спектрометры флуоресцентного микроанализа (µXRF), рентгеновские дифрактометры для фазового анализа и/или анализа напряжений, приборы рефлектометрии, рефрактометрии, малоуглового рассеяния и т.п.