НаноФаб 100 является модульной технологической платформой для формирования нанотехнологических комплексов (НТК) с кластерной компоновкой, включающих технологические установки с возможностями групповых и нанолокальных методов обработки подложек диаметром до 100 мм. При формировании НТК кластеры связываются в технологические цепочки через модули межоперационной передачи и складирования образцов. Это позволяет на основе платформы НаноФаб 100 создавать Нанофабрики для создания полнофункциональных наноструктур, наноустройств и наносистем на их основе.
Модульные Нанотехнологические Комплексы, выполненные на основе платформы НаноФаб 100 составляют:
- Контрольно-измерительные модули(SPM, SEM);
- Модули нанолокальных технологий (FIB, FIB CVD, FIB Imp, GIS SPM);
- Модули групповых технологий (MBE, PLD, PE, PED, PC и пр.);
- Вспомогательные модули(загрузки, переворота пластин, очистки и пр.).
Выполненные на платформе НаноФаб 100 Нанотехнологические Комплексы скластерной компоновкой позволяют создавать на подложках с размерами до 100 мм наноэлектронные, нанофотонные, спинтронные и пр. наноструктуры, наноэлементы и наноустройства. |
Нанотехнологические Модули
